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191.3 4.2E-12
191.4 3.4E-12
191.5 0
191.6 0
191.7 4.8E-12
191.8 2.6E-12
191.9 1.6E-12
192 4.3E-12
192.1 3.8E-13
192.2 1.6E-12
192.3 0
192.4 2.4E-12
192.5 2.5E-12
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196 0
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196.9 5.9E-12
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197.3 4.1E-12
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197.7 5.6E-12
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198 9E-16
198.1 0
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199.5 1.5E-12
199.6 0
199.7 5.8E-12
199.8 3.7E-12
199.9 2.6E-14
200 3.4E-12
 1.5E-7

%说明
MEMS-MS:
State#0                  说明：0 未开机 1 开机中 2 待机中 3 检测中  4 关机中
THP#31.51:54.99:100253.11  说明：温湿压数据
results#0.0001 20 58.1 20.08 0.912 0.038  说明： 甲烷 水 氮气 氧气 氩气 二氧化碳的占比
%